Dosage d'impuretés et détermination de profils de concentration dans les solides par l'observation directe de réactions nucléaires et de la diffusion élastique

Résumé En Fr

The principles involved in the use of monocinetic light ions beams, of about 1 MeV, to impurity analysis in, or on, solids are presented. Two complementary techniques are described : a) the use of elastic scattering, which allows the analysis of impurity elements heavier than the matrix, or the substrate, components, b) the use of nuclear reactions specific of light isotopes. These two techniques allow the direct analysis of the first microns of a solid. The depth resolution varies, according to the cases, from about a hundred angstroms to a few thousand angstroms ; the sensitivity can reach 10¹¹ atoms/cm² in good cases.

Les principes de l'utilisation des faisceaux d'ions légers monocinétiques d'une énergie de l'ordre du MeV, à l'analyse d'impuretés dans, ou sur, des substrats solides sont exposés. Deux techniques complémentaires sont décrites : a) l'utilisation de la diffusion élastique qui permet d'analyser des éléments plus lourds que les composants de la matrice ou du substrat, b) l'utilisation de réactions nucléaires spécifiques à des isotopes légers. Ces deux techniques permettent d'analyser directement les premiers microns d'un solide avec une résolution en profondeur variant, selon les cas, d'une centaine à quelques milliers d' angstroms et avec une sensibilité pouvant atteindre 10¹¹ atomes/cm² dans les cas favorables.